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离子注入最新视觉报道_离子注入设备(2024年12月全程跟踪)

内容来源：卡姆驱动平台所属栏目：热点更新日期：2024-12-03

离子注入

中国半导体设备厂商已覆盖多个细分领域，其中在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高，在CMP、热处理、薄膜沉积设备上有所突破，而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备上的国产化程度仍较低。根据沙利文&头豹数据，中国大陆半导体设备国产化率稳步提升，刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、CMP抛光设备的国产化率位于10%-30%之间，热处理设备国产化率位于30%-40%之间，去胶机国产化率达到80%以上；光刻、量/检测设备、离子注入设备、涂胶显影设备国产化率仍较低，处于5%以下。自主可控范围内市场每年将增加300亿美元左右。

重大突破！芯片+第三代半导体，携手共创未来新篇章公司筹划实际控制人变更事项股票复牌万业企业公告，公司股票将于2024年11月29日（星期五）开市起复牌。此前，公司因间接控股股东宏天元合伙的合伙人正在筹划财产份额协议转让事宜，该事项可能导致公司实际控制人发生变更，而自2024年11月28日开市起停牌，预计停牌时间不超过2个交易日。本次财产份额协议转让尚存在一定的不确定性，公司将根据相关规定及时履行信息披露义务。点评：公开资料显示，万业企业主要从事房地产、集成电路核心装备。公司主要产品包括:中远两湾城、海尚明城福地苑、海尚明城紫辰苑、瀚海星座、房产租赁、煤炭销售、物业服务等。万业企业2024年半年报披露，公司旗下凯世通和嘉芯半导体主要从事集成电路核心装备业务。凯世通所涉核心装备业务是以离子注入技术为核心的集研发、制造、销售于一体的高端离子注入机项目，重点应用于集成电路领域，目前营业收入包括自研离子注入机、离子注入机耗材备件以及产品、服务定制与再制造业务等。嘉芯半导体所涉及的产品范围覆盖刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理等多品类的半导体前道设备。公司致力于实现成熟制程的核心设备、支撑设备本地化研发制造，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。万业企业8月20日表示，万业企业与国家第三代半导体技术创新中心（苏州）签署《协同创新发展全面战略合作协议》。国家第三代半导体技术创新中心（苏州）由江苏第三代半导体研究院有限公司承建，致力于第三代半导体技术的研发与产业化。此次合作，双方将共建国家第三代半导体创新中心先进化合物半导体器件制造中心与第三代半导体工艺技术开发平台，主要围绕先进半导体设备和工艺关键技术，攻坚关键工艺节点核心工艺技术问题，并开展关键工艺技术开发，共同推动第三代半导体芯片制程量产关键设备国产化、标准化。

半导体国产替代龙头代表：离子注入机万业企业、半导体硅片中环股份、刻蚀设备中微公司、芯片封测晶方科技等等

国产离子注入机龙头惊天巨变！先导科技成为万业企业大股东！「张国斌的芯发布」「科技风向标」网页链接

PTL517数显压力变送器。敏感元件采用扩散或离子注入等工艺，高精度全四位显示，稳定可靠。精度可达0.5%FS，灵敏度高、性能稳定。一路4-20mA+两组开关量输出，隔离能力好，寿命长。

【日本芯片材料厂抱怨：美国禁令，让中国提高自给率，我们损失惨重】众所周知，芯片产业链，可以说是全球最复杂的产业链。晶圆厂要制造芯片，需要全球采购芯片设备，比如光刻机、刻蚀机、离子注入机...日本芯片材料厂抱怨：美国禁令，让中国提高自给率，我们损失惨重来自@凤凰新闻

乙硼烷（B2H6）：窒息臭味的剧毒气体。硼烷是气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂。四氟化硅（SiF4）：遇水生成腐蚀性极强的氟硅酸。主要用于氮化硅（Si3N4）和硅化钽（TaSi2）的等离子蚀刻、外延沉积扩散的硅源和光导纤维等用高纯石英玻璃的原料。锗烷（GeH4）：剧毒。金属锗是一种良好的半导体材料，锗烷在电子工业中主要用于化学气相淀积，形成各种不同的硅锗合金用于电子元器件的制造。全氟丙烷（C3F8）：在等离子蚀刻工艺中，作为二氧化硅膜、磷硅玻璃膜的蚀刻气体。硅烷（SiH4）：有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等。

半导体产业链：＞中芯国际:第三季度净利润同比增长56.4%，四季度收入预计环比持平至增长2% ＞看好国产半导体产业链。上市公司中：珂玛科技先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序,已覆盖刻蚀、薄膜沉积离子注入、光刻和氧化扩散设备,代表性客户包括上海微电、科益虹源、芯源微。寒武纪三季度单季度营收同比大幅增长27%,存货10.15亿元，同比增长311%,相比上半年增加7.8亿元。

半导体芯片制造的化学魔法 𐟔슩›†成电路的制造过程简直是一场化学与物理的交响乐，涉及近800道工序，主要分为五个阶段：晶圆制备、芯片制造、芯片检测、芯片封装和验收测试。其中，半导体芯片的生产核心环节包括IC设计、IC制造和IC封测三大块。在IC制造的核心环节中，芯片电路图从掩膜转移到硅片上，从而实现特定的功能。这个过程就像是一场化学与物理的魔法秀，包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积和化学机械研磨等步骤。特别值得一提的是光刻工艺，它可是这场魔法秀的关键。光刻工艺一般要经历八道工序：气相成底膜、旋转涂胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、坚膜烘焙和检测。每一步都像是魔法师的咒语，缺一不可。所以，当你使用电子产品时，不妨想想这些背后的化学工艺，它们让我们的设备变得如此智能和强大。每一片小小的芯片，都是化学与物理的结晶，是科技的力量。𐟒갟”쀀

“美国芯片不再安全，谨慎采购”！中国4大行业协会发声，多家A股公司回应“实体清单”影响！美国当地时间12月2日，美国商务部发布了新的对华半导体出口管制措施。该措施进一步加严对半导体制造设备、存储芯片等物项的对华出口管制，并将华大九天、拓荆科技、凯世通等136家中国实体增列至出口管制实体清单。对此，12月3日，中国互联网协会、中国汽车工业协会、中国半导体行业协会、中国通信企业协会发布声明，呼吁或建议国内企业审慎选择采购美国芯片。据证券时报记者梳理，上述受管制实体大多与半导体制造设备相关，同时还涉及EDA、光刻胶等领域公司。针对本次出口管制措施的相关影响，12月3日多家A股相关公司予以了回应。拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务，自成立以来，公司始终坚持自主研发，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品系列等。12月3日下午，公司相关负责人对证券时报记者回应“实体清单”影响时表示，公司及相关子公司本次被列入“实体清单”不会对其日常经营产生实质性影响。公司搭建了稳定供应链体系，能够确保公司经营业务的安全性及完整性。目前，公司及相关子公司各项业务稳步推进，经营及财务状况正常开展。公司也将借此之际，持续推进业务快速发展，力争实现质的飞跃。 “此次加入实体清单对公司供应端的影响不大。万业旗下凯世通自2020年起就已经启动了应对措施，开展离子注入机国产零部件的开发与验证工作，一方面，积极加强核心零部件的国产化合作，提高零部件国产化率；另一方面，公司提前备货部分核心零部件保障供应链安全。”万业企业相关负责人12月3日对证券时报记者表示。资料显示，万业企业控股子公司凯世通是国内集成电路离子注入机高端装备领先企业。今年上半年，凯世通成为国内首家获得CIS低能大束流离子注入机订单并完成交付的国产设备供应商。据万业企业相关负责人介绍，公司新控股股东先导科技集团在半导体产业链的上下游资源方面拥有深厚积累，不仅能为凯世通提供电子材料（如掺杂材料、前驱体、电子特气）、关键零部件（如静电卡盘、流量计）、离子源工艺测试的供应链支持；同时可以帮助凯世通实现机台的原位检测。先导科技集团从基础材料方面，以及自身在零部件的自主研发供应能力积极对凯世通赋能，保证公司供应链的自主，稳定性和安全。中科飞测当日对外界表示，公司在四、五年前已提前布局应对外部措施，主要就零部件生产制造和销售两方面。一方面，公司的关键零部件已经实现全自产，销售区域也主要面向国内市场。这次外部管制预计不会对公司有较大影响。专注于EDA领域的华大九天在12月3日早间发布了相关公告。公司表示，根据美国《出口管理条例》的规定，被列入“实体清单”的企业，采购该条例管制的物项，供应商需事先向美国商务部申请出口许可证。针对被列入“实体清单”可能发生的风险，公司正在积极应对。 “公司自成立以来，始终专注于EDA领域，积累了丰富的产品和技术经验，并树立了良好的市场形象和客户口碑。公司EDA工具软件所涉及的核心技术来源于公司自有专利及自研所形成的技术，公司拥有相关技术的完整权利，能够保证公司业务经营的独立性、完整性及其技术服务的安全可靠性。公司严格遵守国际商业惯例及法律法规，合规开展业务。本次被美国列入实体清单的影响总体可控。目前公司经营及财务情况正常，各项业务稳步推进。公司将抓住发展契机，加速推动全流程 EDA 工具的国产化进程。”华大九天分析称。中信证券认为，本次管制仍然是主要围绕先进制程的“小院高墙”式策略，意在卡住中国先进半导体发展进程，相关内容与此前媒体报道内容差别不大，市场已有所预期。由于相关企业已有提前准备，短期实际影响有限，长期而言则需放弃幻想，自立自强，有望进一步加速全产业链国产化进程。 12月3日，外交部发言人林剑主持例行记者会。林剑在回应“实体清单”表示，中方已就美国再次更新半导体出口管制规则、制裁中国企业、恶意打压中国科技进步提出严正交涉。 “我要重申，中方一贯坚决反对美方泛化国家安全概念，滥用出口管制措施，对中国企业滥施非法单边制裁和‘长臂管辖’。这种做法严重破坏国际经贸秩序，扰乱全球产供链稳定，损害所有国家利益。中方敦促美方尊重市场经济规律和公平竞争原则，并将采取必要措施，坚决维护自身安全和发展利益。”林剑说。此外，今日中国四大行业协会也对美国以国家安全为借口，进一步加大了对华半导体出口的限制措施发布声明。

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