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二次离子质谱权威发布_二次离子质谱仪的工作原理(2024年12月精准访谈)

内容来源：卡姆驱动平台所属栏目：观点更新日期：2024-12-03

二次离子质谱

半导体工程师 2024年10月28日 07:45 上海 D-SIMS原理及简介二次离子质谱技术（D-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子的质量来测定元素种类，SIMS不仅具有极低的检测极限（ppm～ppb），其灵敏度（～ng/g）和图像分辨率也比较高，且几乎可实现对包括氢元素在内的所有元素的分析。D-SIMS一般要求样品导电性要好，主要用于无机样品沿纵向方向的浓度剖析和进行痕量杂质鉴定如地质研究、同位素定量分析、半导体掺杂的深度分析等。 D-SIMS设备参数深度分辨率：＜1.9nm 质量分辨率：MRP300~2000 杂质检测限：ppm-ppb级别离子源：O源、Cs源最小束斑直径：＜1um O源冲击能范围：500eV-10Kev Cs源冲击能范围：负二次离子模式3KeV-15KeV；正二次离子模式500Ev-5KeV 样品尺寸样品分析区域一般为100-150，建议分析区域大于50，holder尺寸6*6mm，建议单个样品尺寸6*8mm~2*8mm，更小样品需要粘到硅片上。 D-SIMS常见问题 1.样品需要如何制备？最好制成立方体，常规制样尺寸是8mm*8mm 宽方向可以小于8mm 表面粗糙还是尽量磨平比较好测试 2.D-Sims测试有几种模式？分别都是什么？一般有两种模式：体浓度Bulk和深度测试Profile 3.GaN 可以定量哪些元素？ Mg Si In C Al H 4.SiC可以定量哪些元素？ N,Al,B,V,P 5.设备源的注入能量是多少？ 3kev-15kev 6.sims的光斑面积有多大？光斑面积30微米，所以测试面积一般需要大于50微米 7.主体元素可以用sims测试么？可以测试，但不建议用sims定量，sims不适合定量主体元素 8.测试结果的图像中为什么有的样品靠近表面的几十纳米浓度会快速增加？为什么不同元素浓度开始增加的位置不同？表面几十nm可能都是表面污染，表面污染对不同元素的影响是不同的来源于米格实验室，作者米格小编#半导体##芯片##集成电路##失效分析##仪器#

质谱仪的三大类型及其应用解析质谱仪是一种将样品电离为离子，并通过质量分析器将不同质荷比的离子分开，经检测器检测后得到质谱图的仪器。质量分析器是质谱仪的核心部分，主要有四级杆质量飞行器、飞行时间质量飞行器和磁质量飞行器三种类型。四级杆质谱仪 𐟧ꊥ››级杆质谱仪结构简单，操作容易，成本较低，但分辨率不高，常用于有机物分析。飞行时间质谱仪 𐟚€ 飞行时间质谱仪的分析速度快，能够测试高质量数的离子，特别适合大分子分析。磁质谱仪 𐟧튧と𔨨𐱤𛪧š„分辨率和检测灵敏度高，但仪器复杂且成本高，主要用于半导体领域内部结构分析。 MALDI-TOF-MS 𐟌 MALDI-TOF-MS是一种软电离技术，通过激光照射晶体，使基质分子吸收的能量传递到聚合物大分子中，激发大分子发生一系列的分子、离子及光化学反应，产生一系列的准分子离子。这种技术适合于混合物、高聚物及蛋白质生物大分子等的测定。 SIMS 𐟔스𚌦졧滥퐨𔨨𐱯𜈓IMS）是通过初级离子轰击试样表面，引起试样表面原子层的溅射，喷射出原子和原子簇。这些离化产生的二次离子表征分析区域的元素组成和同位素组成。SIMS可分析氢在内的所有元素，灵敏度可达PPm/PPb数量级，并可进行元素分布的深度剖析。双聚焦磁场分析器能同时实现能量（或速度）聚焦和方向聚焦，强的收集场准许收集大多数放射原子，并且通过质谱仪传送它们。即使在需要解决质量干扰的高质量分辨率下，先进的设计仍然保持着高传输率。质量分辨率和传输率比四极杆质谱仪至少高两个数量级，灵敏度比飞行时间质谱仪高几个数量级。

TOF-SIMS5详解：测啥？飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）是一种先进的表面分析工具，型号为TOF.SIMS5。它主要用于测试和分析材料表面，如有机和无机材料。测试周期通常为3-7天，且支持先测后付款，还可以开具对公发票。 𐟓Š 数据处理测试完成后，我们会提供详细的数据处理服务，确保数据的准确性和可靠性。 𐟔젦𕋨🇧苊测试过程中，我们会使用高能离子束轰击样品表面，从而获得样品的化学成分和结构信息。 𐟓… 测试周期一般情况下，测试周期为3-7天，具体时间取决于样品的复杂性和测试需求。 𐟒𜠥𜀧娥’Œ对公服务我们提供对公服务，支持开具发票，方便企业用户进行报销和记录。 𐟓𘠦𕋨𛓦žœ展示测试结果将以3D渲染图的形式展示，包括各种元素的分布和化学键信息。 𐟔砦 𗥓准备在进行测试前，需要准备好样品，并按照我们的要求进行预处理。 𐟓‹ 测试参数测试过程中，我们会根据样品的特性调整能量、电流、面积等参数，以确保测试的准确性。 𐟓ˆ 数据分析测试完成后，我们会提供详细的数据分析报告，包括元素的种类、含量和分布等信息。 𐟓Š 测试结果展示测试结果将以图表的形式展示，方便用户直观了解样品的化学成分和结构。

分享：使用飞行时间二次离子质谱法判定痕量氧元素的测试方法

二次供水氯离子检测：三种方法详解随着城市化的快速发展，二次供水系统在许多地方得到了广泛应用。为了保证二次供水的安全和水质，检测水中的氯离子含量显得尤为重要。本文将详细介绍三种二次供水氯离子的检测方法。一、滴定法 𐟌篸滴定法是一种经典的化学分析方法。通过滴加已知浓度的标准溶液，直到与待测液中的氯离子完全反应，从而计算出氯离子的含量。这种方法操作简便，结果准确，但需要专业的实验设备和技术人员。二、电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 𐟔슉CP-MS是一种高灵敏度、高分辨率的分析方法，可以同时测定水中多种元素和化合物的含量。通过将待测液经过预处理后，注入ICP-MS仪中进行分析，可以得到准确的氯离子含量。不过，该方法设备成本较高，需要专业的实验室条件。三、原子荧光光谱法(AFS) 𐟌Ÿ AFS是一种快速、灵敏的分析方法，适用于测定水中低浓度的氯离子。该方法通过激发待测液中的氯离子，使其产生特定的荧光信号，然后测量荧光信号强度以得到氯离子含量。虽然AFS方法具有一定的优势，但其对于氯离子浓度较低的情况识别能力较弱。四、注意事项 ⚠️ 在选择检测方法时，应根据实际情况和需求选择合适的检测方法，以获得准确的结果。在采样过程中要注意避免污染和损失，确保样品的真实性和准确性。通过以上三种方法，可以有效检测二次供水中的氯离子含量，确保居民饮用水的安全和健康。

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