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聚焦离子束扫描电子显微镜Helios G4 UX聚焦离子束扫描电子显微镜 Helios Nanolab 600i聚焦离子束场发射扫描电子显微镜(FIBSEM)介绍及FIB加工截面功能经典案例分享 知乎FIB聚焦离子束加工技术简介 知乎Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜重庆大学电子显微镜中心FIB DB500 聚焦离子束电子束 双束显微镜扫描电镜北京瑞科中仪科技有限公司一文详解聚焦离子束(FIB)技术原理与发展历史 知乎聚焦离子束/电子束双束电子显微镜中国科学院力学研究所聚焦离子束(FIB)的基本原理、结构和应用 知乎聚焦离子束(FIB)显微镜的原理及应用加工芯片样品一文详解聚焦离子束(FIB)技术原理与发展历史 知乎FIB DB500 聚焦离子束电子束 双束显微镜扫描电子显微镜北京瑞科中仪科技有限公司聚焦离子束电子显微镜百度百科聚焦离子束/电子束双束扫描电镜 赛科检测大型研究型第三方锂电实验室聚焦离子束显微镜 (FIBSEM) 知乎聚焦离子束技术(FIB)制样说明 知乎聚焦离子束显微镜FIB技术基本原理及5大应用 知乎双束聚焦离子束FIBSEM切片案例分享 知乎双束聚焦离子束显微镜测试(FIBSEM) 知乎详细解读——FIBSEM技术(聚焦离子束)丨制备透射电镜(TEM)样品 知乎聚焦离子束电子束双束显微镜聚焦离子束/电子束双束扫描电镜 赛科检测大型研究型第三方锂电实验室聚焦离子束/电子束双束扫描电镜 赛科检测大型研究型第三方锂电实验室冷冻聚焦离子束扫描电镜 CryoFIB聚焦离子束显微镜 (FIB) 的原理及应用 哔哩哔哩详细解读——FIBSEM技术(聚焦离子束)丨制备透射电镜(TEM)样品 知乎DB500聚焦离子束电子束双束显微镜扫描电镜SEM国仪量子技术(合肥)股份有限公司聚焦离子束显微镜FIB聚焦离子束扫描电镜的原理和应用友硕 哔哩哔哩LYRA3 双束聚焦扫描电子显微镜 中国电镜用户之家TESCAN扫描电子显微镜聚焦离子束X射线显微CT4DSTEM联用电镜TESCAN泰思肯 TESCAN聚焦离子束显微镜FIB常见应用 知乎聚焦离子束显微镜 (FIBSEM)测试介绍 知乎聚焦离子束场发射扫描电子显微镜(FIBSEM)介绍及FIB加工截面功能经典案例分享 知乎聚焦离子束扫描电子显微镜系统纳米材料与器件实验室聚焦离子束显微镜(FIB总部) 凯普乐电镜中心。
(1)微米级缺陷样品截面制备聚焦离子束的一个重要应用时可以无掩模注入离子。掩模注入是半导体领域的一项基本操作技术,利用聚焦离子束技术的精确定位和研究人员利用聚焦离子束和透射电镜等技术,分析明宣德至明晚期瓷片中的亚微米级残余颗粒,结合比对元明清不同时期青花瓷的显微研究人员利用聚焦离子束和透射电镜等技术,分析明宣德至明晚期瓷片中的亚微米级残余颗粒,结合比对元明清不同时期青花瓷的显微研究人员利用聚焦离子束和透射电镜等技术,分析明宣德至明晚期瓷片中的亚微米级残余颗粒,结合比对元明清不同时期青花瓷的显微聚焦离子束系统除了具有电子成像功能外,由于离子具有较大的质量,经过加速聚焦后还可对材料和器件进行蚀刻、沉积、离子注入等并采购了一系列科研设备,包括透射电子显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束、X射线光电子能谱仪、氩离子抛光机、气质联用仪、液质TomoGrids 是针对冷冻断层扫描工作流程而特别设计的,其上下2面均是平面。这2个面可防止载样到冷冻透射电镜时出现对齐错误,并发布时间:2024-07-12 | 供稿部门:DNL20 发布时间:2024-07-12 | 供稿部门:DNL20 | 【放大】 【缩小】 | 【打印】 【关闭】发布时间:2024-07-12 | 供稿部门:DNL20 发布时间:2024-07-12 | 供稿部门:DNL20 | 【放大】 【缩小】 | 【打印】 【关闭】报名二维码报名二维码报名二维码报名二维码(B)间距为1的10 㗠10 Pt wKgZombNiuGAB的氦离子显微镜(he)结果。(C) wKgZombNiuGAB在B处45Ⱘ璥HIM结果。(D)在ITO和发布时间:2024-04-22 | 供稿部门:DNL20 发布时间:2024-04-22 | 供稿部门:DNL20 | 【放大】 【缩小】 | 【打印】 【关闭】图4。采用双极纳米电极阵列(wKgaombNiueAKWekAAd)-基于“S”形Pt/C混合纳米电极阵列的ECL传感器在(a)降压和(B)升压条件下活动第二站,市民们走进了广东省矿物物理与材料研究开发重点实验室,依次近距离观察了三种先进的科学仪器:聚焦离子束扫描电子聚焦离子束扫描电镜、软X射线拉曼电镜、激光拉曼光谱仪……在一台台先进仪器设备的帮助下,实验室的重大科研成果层出不穷。 原始五、应用案例:蔡司Crossbeam Laser在封装失效分析中的应用 蔡司Crossbeam Laser系列将飞秒激光、聚焦离子束(FIB)和场发射近日,中国科学院地质与地球物理研究所科研团队与合作者,综合利用聚焦离子束-扫描电镜-透射电镜技术,对嫦娥五号返回月壤样品的本次讲座中,桂龙研究员综合介绍了多种结构生物学研究手段,包括冷冻电镜断层成像、冷冻聚焦离子束、光电联合成像、子断层图像先前的相关研究主要聚焦于弓形虫成熟速殖子及其骨架结构,描述了细胞骨架在成熟速殖子中的分布情况,并通过冷冻电镜分别解析了钢铁研究总院等40余家单位的与会专家对《金属材料截面试样的制备聚焦离子束法》标准进行了审查。 该标准运用聚焦离子束(FIB)页岩在聚焦离子束双束扫描电镜超低温(-160℃)环境下观察,发现页岩多种孔隙中有冰赋存,不同孔隙中冰的存在形态、灰度及导电质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列(其为国内首款可搭载聚焦离子束(FIB)模块的双束场发射质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列(其为国内首款可搭载聚焦离子束(FIB)模块的双束场发射也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束(FIB)能力的多用途双束电镜平台,并获得多个国内顶级高校研究所订单,率先将我们扫描电镜水平最终团队使用聚焦离子束电镜切出了一颗10*7*4微米的纯的单晶颗粒,也就是普通人头发丝平均直径十分之一不到的大小。 科研人员其中:a描绘了用于聚焦离子束(FIB)样品制备的 Sb2S3 纳米棒/Sb纳米片异质结构的截面示意图。b展示了FIB截面样品的透射电子景德镇御窑博物院科技实验室负责人熊喆说,古陶瓷基因库已通过先进的聚焦离子束显微镜,对青花瓷碎片进行了理化分析,证实其同时聚焦离子束对钨针整形后,用铂蒸汽将其焊接到分离的目标矿物之上,采集完的目标矿物从仪器仓中取出, 放入特制的样品保管“胶囊图.(A)聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)展示多纤毛细胞中纤维状颗粒物与摇篮体的空间分布;(B)纤维状颗粒物结构可以富集基体的图.(A)聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)展示多纤毛细胞中纤维状颗粒物与摇篮体的空间分布;(B)纤维状颗粒物结构可以富集基体的赵教授带领团队数十年来,聚焦电子束离子束核心零部件、高端装置、配套工艺、应用技术研究,长期为国内高校院所提供多种自主研发同学们分成三个小组,分别参观了院综合科技展厅、核能系统试验验证台架、透射电子显微镜和聚焦离子束装置以及核能包壳材料实验KAIST研究团队通过使用减弱的聚焦离子束解决了这个问题。 据悉,上述研究成果于13日在线发表于材料科学领域的世界知名学术期刊图2 聚焦离子束粗切和精修过程 a-c 聚焦离子束粗切过程。d-g 聚焦离子束精修过程。 综上所述,该研究开发的工作流程解决了大型聚焦离子束刻蚀,对激光着色的区域进行材料分析,证实观察到的色彩的确来自激光诱导形成的氧化层。 目前,仇旻团队发明的“飞秒最终减薄TEM样品结果:FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌。此款支架在镀铜层下方镀有约30纳米的镍层,在FIB-SEM下依然清晰可测!内部结构、光耦合扫描探头的三维设计图和实物图。C,qPlus原子力传感器。D,聚焦离子束刻蚀后的针尖。高通量(场发射)扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束、电子束曝光机、半导体电子束检测等。在吕广宏院长和程龙副教授等物理学院老师的带领下,同学们走进了直线等离子体装置实验室和聚焦离子束扫描电镜实验室。通过与因此,在本研究中采用FISH-SEM将目标细菌共定位后,采用聚焦离子束技术(FIB)将目标细菌逐层切开,然后使用SEM对细胞内的磁芯片研究人员在工作中 在聚焦离子束FIB工作区,研究人员操作设备,可以进行芯片电路的原位检测与修复;在光刻区,可以进行小至FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌,镀层界限明显、结构及晶格形貌清晰,尺寸测量准确。此款支架在常规镀镍层上方镀铜,中核地质科技工程师 王涛:铌包头矿它的颗粒比较小,我们采用聚焦离子束把矿物颗粒给它切出来,大概是一个20微米㗱0微米㗷微米(3)荧光—聚焦离子束-扫描电镜(FISH-FIB-SEM)鉴定WYHR-4(图4)。(B)经过聚焦离子束切割的针尖的扫描电子显微镜图像。(C)改进前后力信号信噪比的对比。(来源:Science) 详细来说,该团队Thermo Scientific™ Arctis™ Cryo-Plasma-FIB冷冻等离子体聚焦离子束电镜等多款中国首发的新品。 以Thermo Scientific™ ImageTitle又是一番耐心和恒心的“决斗”,最终李婷使用聚焦离子束电镜切出一颗10微米*7微米*4微米的纯的单晶颗粒,其大小约普通人头发丝图3 自制qPlus型光耦合扫描探针显微镜的原子力显微成像测试结果。A,qPlus力传感器频率扫描曲线。B和D,不同针尖高度下Au(111图3 月壤颗粒中np-Fe0附近线扫描EELS谱图 综上,利用聚焦离子束制备月壤样品原位超薄切片不仅可有效解决俄歇纳米探针分析时通过聚焦离子束 (FIB) 仪器切割的横截面对镁片进行了表面分析,发现金属镁在ImageTitle2 WIS 中循环以后,镁表面显示出金属沉积膜近期,安徽大学新型磁性材料与存储器件研究团队利用聚焦离子束微纳器件制备和原位洛伦兹电镜表征技术,首次实现了纳米条带存储课题组进一步采用聚焦离子束技术在图3a中的粗糙区域位置c提取微尺度样品,然后对其微结构进行观测。这个观测不仅使用了扫描电子课题组进一步采用聚焦离子束技术在图3a中的粗糙区域位置c提取微尺度样品,然后对其微结构进行观测。这个观测不仅使用了扫描电子随后赛默飞世尔科技(中国)有限公司和徕卡显微系统(上海)贸易有限公司先后分享了“聚焦离子束电镜在体电子显微学方面的应用”然后,利用虚拟数字化和3D-XRM与聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)三维切片技术,将富锆矿物中目标颗粒中暴露到一个平整的截面聚焦离子束将高能的离子轰击到样品上,将冗余的原子和分子除去。电子束相当于眼镜,离子束相当于手术刀。借助电子束和离子束实现克服双束系统在典型绝缘体材料时的问题,借助AFM对加工过程进行了表征。结果发表在Nanotechnology 20 (2009) 145301我们取完(裸片)过后,表面能看到有烧伤点,就需要通过FIB(聚焦离子束)来切割,看每一层烧伤的形貌。该研究采用聚焦离子束(FIB)处理结合高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和谱学分析,首次实现了对单个硅藻壳体的超微切片和微区为了对月球遭遇的太空风化有深入的了解,研究人员采用了许多方法进行了分析,如单颗粒样品操纵、扫描电镜形貌观察、聚焦离子束此外,研究团队还使用显微CT、聚焦离子束—扫描电子显微镜系统对样品内部进行逐层高分辨率成像,并用一台超级计算机3D数字重建FIB(聚焦离子束):用于线路修改、切线连线、切点观测、TEM制样、精密厚度测量等。他们使用结合激光切割和聚焦离子束 (FIB) 的新技术,实现了对金刚石探针形状的高度控制。 首先,该团队通过将氮离子注入到大块借助和冷冻光镜,聚焦离子束等前沿技术的联合,样品尺寸范围小到表面的细枝末节,大到细胞组织水平,都能“清晰可见“。 “我们20年前,我最引以为荣的聚焦离子束电路修改技术,收费高达约3000元/小时。 但20年后的今天,相同技术节点的服务,300元/小时就矽灵电子芯片设计研发项目、高性能频率控制芯片研发项目、微控智芯半导体研发项目、四海华芯聚焦离子束半导体研发项目。研究人员为破解样品的晶体结构,首先用聚焦离子束电镜切割出尺寸为 10㗷㗴 微米纯净单晶体微粒(不足普通人头发丝平均长度的十无机材料分析测试中心程国峰正高级工程师作“由表及里、见微知著—X射线三维吸收成像技术在材料研究中的应用”报告采用原位高能x射线衍射仪在APS的束线11- d - c上进行了测量,并在CNM上进行了聚焦离子束光刻和透射电镜观察,其研究成果发表在连日来,嘉庚创新实验室工程师黄声超博士都泡在无噪声实验室里,通过三束流聚焦离子束加工与表征系统加工样本,帮助企业优化中国电镜学会常务理事及聚焦离子束专业委员会主任、西安交通大学副校长单智伟,教育部人才计划特聘教授、西安交通大学章效锋教授聚焦离子束同位素富集Si-28原理图 (来源:《自然・通讯材料》杂志) 为了验证植入效果,研究者们采用了纳米级二次离子质谱(最终,他们抓住了这个机会,在聚焦离子束电子显微镜的帮助下,在14万个颗粒中成功分离出一颗粒径约10微米、约为普通人头发平均(k) Tianzhushania spinosa微生物化石的硅化保存及其埋藏学进一步利用共聚焦激光拉曼光谱仪(CLRS)、扫描电镜(SEM)、聚焦离子束2.3 离子加工与取向分析联用会议期间,与会委员及专家代表审查通过了《高碳钢盘条网状渗碳体评定方法》和《金属材料截面试样的制备聚焦离子束电子束双束系统以及聚焦离子束FIB取样特征(d)<br/>图2 菲律宾黑山斑岩铜矿测试斑晶BSE(a)、X-ray扫面(b-c)及剖面元素分布特征(d-i)硅基体+氧化硅薄膜(~100nm) 样品要求:非粉末样品;非磁性样品;导电性好;表面抛光;上下底面平行;样品厚度尽量小,不硅基体+氧化硅薄膜(~100nm) 样品要求:非粉末样品;非磁性样品;导电性好;表面抛光;上下底面平行;样品厚度尽量小,不需要更精微的分析,要将微颗粒切开观察截面,我们还可以在平台预约聚焦离子束显微镜。”广东龙骅新材料公司总经理刘挺激动地说,致密性对产品性能有着举足轻重的影响,利用聚焦离子束(FIB)切割截面,配合扫描电镜(SEM)可实现对微观样品截面的形貌观测。电路分析及微探针分析。 4. 物理分析,剥层、聚焦离子束(FIB),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(SEM)、VC定位技术。具体工艺流程如图15所示,该工艺可分为两个阶段:纳米压印工作模具制备阶段和批量生产阶段。首先,通过上述模板制备工艺将图案加工2.2 晶粒取向表征需要采用聚焦离子束(focused ion beam etching,FIBE)、离子束刻蚀(ion beam etching,IBE)、反应离子束刻蚀(reactive ion beam传统高分辨率的制造方法如电子束光刻(EBL)和聚焦离子束光刻(FIB)可以制作超透镜的2D或2.5D原型,而TPL可以在保持亚波长图1:利用聚焦离子束折叠加工方法制备3D金属/介质复合结构的流程图和SEM图涂层破损及相应的环境方面影响因素等并利用聚焦离子束对点蚀及杂质缺陷引起的应力腐蚀开裂进行原位的观察和分析;此外还介绍了氢最可行的检测方法是,用一种非常精确的原子级光束——聚焦离子束切开iOS芯片,直接分析其中存储的0、1编码排列。随后,对失效器件进行失效分析,在后侧和前侧用光电子能谱确定缺陷位置,并用聚焦离子束方法进行“热点”截面分析。 图4所示的图9 聚焦离子束曝光装置示意图 激光直写光刻是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面公司所展示的多个热门项目,如X射线光电子能谱仪(XPS)、聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)、全自动比表面及孔隙度分析(BET)为了给广大用户提供更加高质量的服务,提高仪器设备的工作效率,让用户尽早接触并了解扫描电镜、聚焦离子束、透射电镜等电子杨勇教授课题组通过原位电化学阻抗谱,聚焦离子束-扫描电子显微镜和固态核磁共振技术比较了常规多晶NCM811(ImageTitle0.8Co无掩模刻蚀。a. 电子束刻蚀。b. 电子束刻蚀制造的超构表面SEM图。c. 聚焦离子束刻蚀。d. 聚焦离子束刻蚀制造的超表面SEM图。
??????聚焦离子束扫描电子显微镜(FIBSEM)微纳加工Logo实操哔哩哔哩bilibili聚焦离子束分析(FIB)哔哩哔哩bilibiliPC《红色警戒2:尤里的复仇》冷酷模式 8个国家 尤里防守成功 抖音聚焦离子束的主要功能及应用——①离子注入哔哩哔哩bilibiliFIB聚焦离子束电子束的原理及应用场景哔哩哔哩bilibili第3节 聚焦离子束(FIB)制备三维原子探针(3DAPT)试样简介哔哩哔哩bilibili聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX聚焦离子束显微镜解密器件失效哔哩哔哩bilibili
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课题组进一步采用聚焦离子束技术在图3a中的粗糙区域位置c提取微尺度样品,然后对其微结构进行观测。这个观测不仅使用了扫描电子...
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随后赛默飞世尔科技(中国)有限公司和徕卡显微系统(上海)贸易有限公司先后分享了“聚焦离子束电镜在体电子显微学方面的应用”...
然后,利用虚拟数字化和3D-XRM与聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)三维切片技术,将富锆矿物中目标颗粒中暴露到一个平整的截面...
聚焦离子束将高能的离子轰击到样品上,将冗余的原子和分子除去。电子束相当于眼镜,离子束相当于手术刀。借助电子束和离子束实现...
克服双束系统在典型绝缘体材料时的问题,借助AFM对加工过程进行了表征。结果发表在Nanotechnology 20 (2009) 145301
该研究采用聚焦离子束(FIB)处理结合高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和谱学分析,首次实现了对单个硅藻壳体的超微切片和微区...
为了对月球遭遇的太空风化有深入的了解,研究人员采用了许多方法进行了分析,如单颗粒样品操纵、扫描电镜形貌观察、聚焦离子束...
此外,研究团队还使用显微CT、聚焦离子束—扫描电子显微镜系统对样品内部进行逐层高分辨率成像,并用一台超级计算机3D数字重建...
他们使用结合激光切割和聚焦离子束 (FIB) 的新技术,实现了对金刚石探针形状的高度控制。 首先,该团队通过将氮离子注入到大块...
借助和冷冻光镜,聚焦离子束等前沿技术的联合,样品尺寸范围小到表面的细枝末节,大到细胞组织水平,都能“清晰可见“。 “我们...
20年前,我最引以为荣的聚焦离子束电路修改技术,收费高达约3000元/小时。 但20年后的今天,相同技术节点的服务,300元/小时就...
研究人员为破解样品的晶体结构,首先用聚焦离子束电镜切割出尺寸为 10㗷㗴 微米纯净单晶体微粒(不足普通人头发丝平均长度的十...
采用原位高能x射线衍射仪在APS的束线11- d - c上进行了测量,并在CNM上进行了聚焦离子束光刻和透射电镜观察,其研究成果发表在...
连日来,嘉庚创新实验室工程师黄声超博士都泡在无噪声实验室里,通过三束流聚焦离子束加工与表征系统加工样本,帮助企业优化...
中国电镜学会常务理事及聚焦离子束专业委员会主任、西安交通大学副校长单智伟,教育部人才计划特聘教授、西安交通大学章效锋教授...
聚焦离子束同位素富集Si-28原理图 (来源:《自然・通讯材料》杂志) 为了验证植入效果,研究者们采用了纳米级二次离子质谱(...
最终,他们抓住了这个机会,在聚焦离子束电子显微镜的帮助下,在14万个颗粒中成功分离出一颗粒径约10微米、约为普通人头发平均...
(k) Tianzhushania spinosa微生物化石的硅化保存及其埋藏学进一步利用共聚焦激光拉曼光谱仪(CLRS)、扫描电镜(SEM)、聚焦离子束...
会议期间,与会委员及专家代表审查通过了《高碳钢盘条网状渗碳体评定方法》和《金属材料截面试样的制备聚焦离子束电子束双束系统...
以及聚焦离子束FIB取样特征(d)<br/>图2 菲律宾黑山斑岩铜矿测试斑晶BSE(a)、X-ray扫面(b-c)及剖面元素分布特征(d-i)...
硅基体+氧化硅薄膜(~100nm) 样品要求:非粉末样品;非磁性样品;导电性好;表面抛光;上下底面平行;样品厚度尽量小,不...
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需要更精微的分析,要将微颗粒切开观察截面,我们还可以在平台预约聚焦离子束显微镜。”广东龙骅新材料公司总经理刘挺激动地说,...
致密性对产品性能有着举足轻重的影响,利用聚焦离子束(FIB)切割截面,配合扫描电镜(SEM)可实现对微观样品截面的形貌观测。
电路分析及微探针分析。 4. 物理分析,剥层、聚焦离子束(FIB),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(SEM)、VC定位技术。
具体工艺流程如图15所示,该工艺可分为两个阶段:纳米压印工作模具制备阶段和批量生产阶段。首先,通过上述模板制备工艺将图案加工...
需要采用聚焦离子束(focused ion beam etching,FIBE)、离子束刻蚀(ion beam etching,IBE)、反应离子束刻蚀(reactive ion beam...
传统高分辨率的制造方法如电子束光刻(EBL)和聚焦离子束光刻(FIB)可以制作超透镜的2D或2.5D原型,而TPL可以在保持亚波长...
涂层破损及相应的环境方面影响因素等并利用聚焦离子束对点蚀及杂质缺陷引起的应力腐蚀开裂进行原位的观察和分析;此外还介绍了氢...
随后,对失效器件进行失效分析,在后侧和前侧用光电子能谱确定缺陷位置,并用聚焦离子束方法进行“热点”截面分析。 图4所示的...
图9 聚焦离子束曝光装置示意图 激光直写光刻是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面...
公司所展示的多个热门项目,如X射线光电子能谱仪(XPS)、聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)、全自动比表面及孔隙度分析(BET)...
为了给广大用户提供更加高质量的服务,提高仪器设备的工作效率,让用户尽早接触并了解扫描电镜、聚焦离子束、透射电镜等电子...
杨勇教授课题组通过原位电化学阻抗谱,聚焦离子束-扫描电子显微镜和固态核磁共振技术比较了常规多晶NCM811(ImageTitle0.8Co...
无掩模刻蚀。a. 电子束刻蚀。b. 电子束刻蚀制造的超构表面SEM图。c. 聚焦离子束刻蚀。d. 聚焦离子束刻蚀制造的超表面SEM图。
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